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BrukerDektakPro布魯克臺階儀DektakPro™以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng)，具有4?重復(fù)性的表現(xiàn)，并提供200毫米平臺選項，在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。DektakPro在表面測量方面設(shè)立了新的目標(biāo)，是微電子......
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納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積.主要應(yīng)用半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、BondPads)；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN,......
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等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材......
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XRD即X射線衍射,通常應(yīng)用于晶體結(jié)構(gòu)的分析。X射線是一種電磁波,入射到晶體時在晶體中產(chǎn)生周期性變化的電磁場。引起原子中的電子和原子核振動,因原子核的質(zhì)量很大振動忽略不計。振動著的電子是次生X射線的波源,其波長、周相與入射光相同?；诰w結(jié)構(gòu)的周期性,晶體中各個電子的散射波相互干涉相互疊加,稱之為衍射。散射波周相一致相......
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