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      Bruker布魯克 XRD JV-QCVelox X射線衍射儀

      簡要描述:Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD

      ——用于 LED 和外延層晶圓分析的生產(chǎn)專用高分辨率 X 射線衍射系統(tǒng)

      • 所在城市:上海市
      • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
      • 更新日期:2025-01-15
      • 訪  問  量:7271
      詳細介紹
      品牌Bruker/布魯克價格區(qū)間100萬-150萬
      儀器種類探測器及其他設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子
      屬性X射線衍射儀

      Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD

      ——用于 LED 和外延層晶圓分析的生產(chǎn)專用高分辨率 X 射線衍射系統(tǒng)
















      產(chǎn) 品 概 述

      Bruker’的 JV-QCVelox 是長期運行的 JV-QC 儀器中新、先進的 HRXRD。
      它是化合物半導(dǎo)體行業(yè)高分辨率 X 射線衍射的專用質(zhì)量控制工具。 它適用于表征所有常見的半導(dǎo)體襯底,包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
      測量可以部分或*自動化運行,用戶可自定義的腳本處理日常工作。

      VeloMAX™ 光學(xué)器件:通過 10 倍以上的強度改進實現(xiàn)高生產(chǎn)率













      JV-QC-Velox 系統(tǒng)的入射光束包括許多標準功能以獲得高強度。 晶體選擇根據(jù)材料進行了優(yōu)化:


      ·在不損失分辨率的情況下,提高了通量并提高了可重復(fù)性。
      ·在不降低分辨率的情況下,可以實現(xiàn)比以前更快的測量和更高的精度。 這是在 MQW 分析中保持準確的成分值的關(guān)鍵。
      ·多層反射鏡作為所有 JV-QC-Velox 系統(tǒng)的標準配置
      ·對于高鑲嵌樣品,使用 25 英寸的調(diào)節(jié)晶體發(fā)散角來增強系統(tǒng)(標配)
      ·對于傳統(tǒng)的 III-V 系統(tǒng),可以提供更高分辨率的調(diào)節(jié)晶體 (<10”) 來代替 25” 晶體(需要在采購訂單上注明)
      ·系統(tǒng)的校準可以輕松安全地進行,機柜中沒有開梁。

      ·檢測器級包括許多標準功能,可以增強系統(tǒng)的能力
      ·EDRc(增強動態(tài)范圍)檢測器的動態(tài)范圍 > 2x107
      ·自動衰減器,通過控制軟件進行控制。這將系統(tǒng)動態(tài)范圍增加到超過3x108

      ·三軸晶體是獲得所需晶體的關(guān)鍵GaN測量的分辨率。
      ·電動探測器狹縫允許對系統(tǒng)進行控制分辨率,無需手動更換模塊
      ·所有探測器級組件都是自動對齊的通過電腦

      HRXRD 技術(shù)







      材料:單晶襯底(例如 Si、GaAs、InP、GaN)和外延
      層,包括多層結(jié)構(gòu)
      參數(shù):層厚度、成分和松弛、應(yīng)變、區(qū)域均勻性、失配、摻雜劑水平、錯切、層傾斜。
      ·直接測量多層結(jié)構(gòu)內(nèi)層的松弛/應(yīng)變/組成
      ·自動樣品校準、測量、分析和報告

      ·由 JV-RADS 軟件執(zhí)行的分析。
      ·化合物半導(dǎo)體襯底可實現(xiàn)對稱、非對稱和斜對稱反射

      VeloSWAP: 高級樣品板

      運動學(xué)樣品板:可以快速更換樣品板——每個板都可以在幾秒鐘內(nèi)移除/更換。 由于運動加載,安裝后無需對齊板。 可以提供多個板并互換使用。
      ·31 x 2” 運動學(xué)樣品板,用于大批量測量,以增加板重新加載之間的
      時間并提高生產(chǎn)力和工具效率。
      ·外部條碼閱讀器可以安裝到工具或獨立站。







      JV-QCVelox 配備機器人,可從晶圓盒進行全自動測量

      ·2” 至 200 毫米磁帶
      ·自動檢測晶圓盒尺寸
      ·任意數(shù)量插槽的任意配方組合
      ·提高更大晶圓尺寸的生產(chǎn)力
      ·無需人工處理晶圓,提高晶圓清潔度

      bruker布魯克 JV-QCVelox X射線衍射儀 XRD產(chǎn)品規(guī)格

      Bruker布魯克 XRD JV-QCVelox X射線衍射儀

       

       

       

       

       
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