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      Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

      簡要描述:Diener 等離子表面處理儀 Tetra100特點:
      &#183;便捷的觸摸屏操作界面

      &#183;數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

      &#183;異常報警功能

      &#183;自動/手動操作模式可切換

      &#183;儲存多套工藝程序

      &#183;遠程操控,數據導出

      &#183;模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

      • 所在城市:上海市
      • 廠商性質:代理商
      • 更新日期:2024-12-02
      • 訪  問  量:2208
      詳細介紹
      品牌其他品牌產地類別國產
      應用領域醫療衛生,環保,生物產業,農林牧漁外形尺寸600x850x1700
      工藝氣體O2、Ar、N2、CO、H2、Air、CF4、NH3、SF6流量計MFC數字氣質流量計
      不銹鋼真空腔體尺寸W400xD625xH400/100L鋁合金真空腔體尺寸W400xD625xH400/100L
      真空壓力計皮拉尼傳感器(0~9.99mbar)

      Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

      特點:

      ·便捷的觸摸屏操作界面

      ·數字及圖標多重工藝參數實時顯示方式

      ·異常報警功能

      ·自動/手動操作模式可切換

      ·儲存多套工藝程序

      ·遠程操控,數據導出

      ·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

       

      Diener 等離子表面處理儀 Tetra100技術規格:

      型號

      Tetra 100

      控制系統

      控制方式

      全自動控制(自動/手動切換)

      BASIC PC

      FULL PC

      操作系統

      Windows CE

      Windows 10

      觸摸屏

      3.5/7”

      7/15”

      工藝氣體

      O2 Ar N2 Air SF6 CF4

      工藝氣路

      1-3路(可選)

      1-10路(可選)

      流量計

      MFC /防腐型MFC

      真空腔體

      不銹鋼W400xD625xH400/100L

      鋁合金W400xD625xH400/100L

      電極

      材質

      鋁/不銹鋼電極

      層數(可選)

      1-10(可選)

      1-2

      1-5

      發生器

       

      40kHz 0-1500W

      80kHz 0-1000W 0-3000W

      13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

      2.45GHz 0-1200W

      真空壓力計(mba)

      皮拉尼傳感器(0-9.99)

      托盤

      不銹鋼/鋁

      實板/鏤空

      層數

      1-10(可選)

      外形尺寸WDH(mm)

      600x850x1700(2100)

      電源

      AC400 V / 16 A

      真空泵抽氣速度

      根據工藝選擇

      選配件

      單體導入模塊、遠程控制系統、防腐系統、氣浴、托盤/腔體冷卻系統、加熱模塊、RIE電極(刻蝕)、石英舟、干泵

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