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      Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE

      簡要描述:Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE特點:
      &#183;適用于8"以下樣品的處理

      &#183;等離子蝕刻機,可實現快速且一致的樣品表面刻蝕

      &#183;全局的工藝氣體通過氣浴進氣實現了均勻的氣體分布

      • 所在城市:上海市
      • 廠商性質:代理商
      • 更新日期:2024-12-02
      • 訪  問  量:1992
      詳細介紹
      品牌其他品牌價格區間面議
      產地類別國產應用領域醫療衛生,環保,生物產業,農林牧漁

      Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE

      特點:

      ·適用于8”以下樣品的處理

      ·等離子蝕刻機,可實現快速且一致的樣品表面刻蝕

      ·全局的工藝氣體通過氣浴進氣實現了均勻的氣體分布

      ·電極水冷確保了樣品的溫度不會偏高

      ·工業Windows控制系統,多段程序控制功能,實現一鍵蝕刻功能

      ·適合于研究院、高校、研發中心等使用,也可小批量生產

       

      Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE規格

      型號

      TETRA 8 RIE

      控制系統

      基于軟件WINDOWS 10PC控制系統

      程序存儲

      100

      工藝過程監控

      二維折線圖與數字實時顯示

      參數偏離值設定

      初抽真空時間、進氣量偏差值,實際功率輸出值

      報錯功能

      顯示詳細的報錯信息

      數據導入導出

      USB/TCP IP

      選程控制

      Team viewer

      工藝氣路

      兩路進氣通道(兩路腐蝕性氣體)

      一路沖洗管路

      一路泄氣管路

      流量計

      MFC流量計

      真空腔體

      圓形不銹鋼腔體腔體

      尺寸:Φ280mm x D 127mm 8L

      腔體可做防腐

      托盤

      鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃

      電極

      RIE(蝕刻專用)電極配有氣浴

      電極水冷

       

       

       

      冷卻系統

      冷卻真空腔體和電極

      發生器

      13.56 MHz 0-600W 自動匹配

      安全開關

      門開關、皮拉尼開關、真空開關

      真空壓力計

      2pcs 電容式真空計

      外形尺寸(W×H×D)

      1800mm×2200mm×1800mm

      電源

      AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A

      真空泵

      防腐真空泵抽速不低于90 m³/h

      分子泵排氣速度

      冷卻系統

      冷水機對真空腔體,電極進行冷卻

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