KASHIYAMA風(fēng)冷式無油真空泵 NeoDry60E特點(diǎn)： 每3年維護(hù)一次（使用空氣/氮?dú)獯祾吖δ埽? 無需更換密封件，無性能劣化，無顆粒 無油煙，無室內(nèi)污染 旋轉(zhuǎn)/渦旋泵的優(yōu)良替代方案 可對應(yīng)水蒸氣或溶劑 變頻馬達(dá)，不影響性能抽氣性能 低噪音，低振動

特點(diǎn) 三年維護(hù)一次，延長了設(shè)備的使用壽命，降低真空泵的使用成本（潔凈制成的情況下） 設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設(shè)備長期正常工作 采用空冷式方式，不需要配置冷卻水，從而節(jié)少空間和避免水泄漏的風(fēng)險(xiǎn) 采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）結(jié)構(gòu)，可以排出水蒸汽

kashiyama MU系列 真空泵 ·在蝕刻等中等負(fù)載工藝中實(shí)現(xiàn)低功耗表現(xiàn) ·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35% ·增強(qiáng)工藝耐久性并提高能源效率 ·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格 ·升級的工藝耐久性與節(jié)能性能

KASHIYAMA SDL12E50-901 真空泵

KASHIYAMA SDE1220-011 真空泵