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      bruker Dektak Pro臺階儀介紹

      更新時間:2025-01-13瀏覽:266次

      Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀

      Dektak Pro™ 以其多功能,使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統,具有4?重復性的表現,并提供200毫米平臺選項,在科研以及工業領域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測量方面設立了新的目標,是微電子技術、薄膜與涂層和生命科學應用的理想選擇。


      Dektak Pro可提供:
      測量和分析功能,確保 每次都能獲得準確、嚴謹的數據
      多功能性和便捷性,精簡的軟件和簡便的探針更換
      通過直驅掃描平臺和軟件進步,減少獲得結果的時間
       

      Dektak Pro產品參數

      測量技術探針輪廓測量(接觸測量)
      測量功能二維表面輪廓測量;可選三維測量
      樣品視野可選放大倍率, 0.275到2.2 mm 
      探針傳感器
      低慣量傳感器(LIS 3)
      探針壓力
      1到15 mg,使用LIS 3傳感器
      低作用力
      N-Lite+ 精微力傳感器,0.03到15 mg(可選)
      探針選項
      探針半徑選項從50 nm到25 μm;
      高徑比(HAR)針尖200 μm x 20 μm;
      可根據客戶要求提供定制針尖
      樣品臺 XY載物臺
      手動100 mm(4"),手動調平;
      電動150 mm(6"),手動調平;
      帶編碼器電動200 mm(8"),手動調平
      樣品旋轉臺
      手動或自動,連續360°
      減震裝置
      減震裝置可用(選配)
      掃描長度范圍
      55 mm(2");200 mm(8")具備掃描拼接能力
      每次掃描數據點
      可達120,000個數據點
      樣品厚度可達
      50 mm (1.95")
      晶圓尺寸可達
      200 mm (8")
      臺階高度重復性
      4 ?, 1 sigma ( ≤1 μm 標準臺階樣品)
      垂直范圍
      1 mm (0.039")
      垂直分辨率
      1 ? (@ 6.55 μm 范圍)
      輸入電壓
      100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz
      溫度范圍
      工作范圍20到 25°C (68 到 77oF)
      濕度范圍
      ≤80%, 無冷凝
      系統尺寸與重量
      尺寸:455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H);
      重量:34 kg(75 lb);
      外殼尺寸:550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" L
      x 23" W x 17.5" H);
      外殼重量:5.0 kg(11 lb)


       

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