原子力顯微鏡的工作原理

 

原子與原子之間的交互作用力因為彼此之間的距離的不同而不同，其之間的能量表示也會不同。

 

原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）*大的差別在于并非利用電子隧道效應，而是利用原子之間的范德華力（Van DerWaalsForce）作用來呈現樣品的表面特性。假設兩個原子中，一個是在懸臂（cantilever）的探針**，另一個是在樣本的表面，它們之間的作用力會隨距離的改變而變化，其作用力與距離的關系，當原子與原子很接近時，彼此電子云斥力的作用大于原子核與電子云之間的吸引力作用，所以整個合力表現為斥力的作用，反之若兩原子分開有一定距離時，其電子云斥力的作用小于彼此原子核與電子云之間的吸引力作用，故整個合力表現為引力的作用。若以能量的角度來看，這種原子與原子之間的距離與彼此之間能量的大小也可從Lennard–Jones 的公式中到另一種印證。

 

·0.3納米長期穩定

提供NIST可追蹤的參考計量，并在一年內保持測量的穩定性

 

·260-340個站點/小時

內聯應用程序的*高生產效率

減少MAM時間和優化的晶圓處理可保持高達50個晶圓/小時的吞吐量

 

·高達36000微米/秒

仿形速度

通過熱點識別提供高分辨率3D特征

 

·*高分辨率，尖--端壽命長

InSight AFP的TrueSense®技術，具有原子力分析器經驗證的長掃描能力。亞微米特征的蝕刻深度、凹陷和侵蝕可以*自動化地監控，具有可重復性，無需依賴測試鍵或模型。

 

蝕刻和CMP晶片的全自動在線過程控制

Insight AFP結合了原子力顯微鏡的新創新，包括Bruker的專有CDMode，用于表征側壁特征和粗糙度。CDmode減少了所需的橫截面數量，實現了顯著的成本節約。此外，AFP數據提供了無法通過其他技術獲得的直接側壁粗糙度測量。