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      Diener 等離子表面處理儀 PICO

      簡要描述:Diener 等離子表面處理儀 PICO特點:
      · 低壓等離子系統,用于不同材料表面的處理

      · 配置自動/手動模式,實現控制高機能

      · 4" Wafer去膠清洗

      · 適合于研究院、高校、研發中心使用

      • 所在城市:上海市
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新日期:2025-01-14
      • 訪  問  量:1452
      詳細介紹
      品牌其他品牌產地類別國產
      應用領域醫療衛生,環保,生物產業,農業

      Diener 等離子表面處理儀 PICO

      特點:

      · 低壓等離子系統,用于不同材料表面的處理

      · 配置自動/手動模式,實現控制高機能

      · 4" Wafer去膠清洗

      · 適合于研究院、高校、研發中心使用

      · 操作簡單易使用



      Diener 等離子表面處理儀 PICO技術規格:

      型號

      PICO

      PICO PCCE

      控制系統

      手動控制

      PCCE 控制系統

      工藝氣路

      雙路或三路氣體

      工藝氣體

      O2ArN2CO2H2Air等非腐蝕性氣體或者CF4 SF6等腐蝕性氣體

      單體導入

      H2O,親疏水涂層等單體(選配)

      流量計

      針閥流量計(防腐蝕)

      MFC流量計(防腐蝕)

      真空

      腔體

      材質

      高硼硅玻璃/石英

      蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

      不銹鋼

      蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

      鋁合金

      鉸鏈門

      圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm

      150×320(600) *1

      130×300( 600) *1

      方形腔體內尺寸  W×D×Hmm

      160×325( 600) *1×160mm

      150×325600*1×160

      容積

      5.6L~10.6L

      8L~15L

      7.8L~14L

      電極

      360度外置環繞電極

      平行平板電極

      發生器*


      40 kHz     0-200W

      100 kHz   0-500W

      13.56 MHz 0-50W 或者 0-100W 或者0-300W

      2.45 GHz   0-300W

      真空壓力計

      指針式壓力計

      皮拉尼數字式壓力計

      計時器

      模擬數字式

      數字式

      托盤

      高硼硅玻璃,石英,不銹鋼,鋁合金

      外形尺寸(WXDxHmm

      560x600-750x460-860mm

      電源

      AC220V 50Hz 10A

      真空泵

      排氣速度不小于8m3/H


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